กระบวนการผลิตของฟอสเฟตเอสเทอร์ส่วนใหญ่มีวิธีการต่อไปนี้:
วิธีการฟอสฟอรัส pentoxide: นี่เป็นวิธีที่ใช้กันมากที่สุดโดยใช้ฟอสฟอรัส pentoxide (P2O5) เพื่อทำปฏิกิริยาโดยตรงกับแอลกอฮอล์สำหรับเอสเทอริฟิเคชัน วิธีนี้ใช้งานง่ายและง่ายต่อการตอบสนอง ปัจจุบันประมาณ 70% ของฟอสเฟตเอสเทอร์อุตสาหกรรมใช้วิธีนี้
วิธีฟอสฟอรัสไตรคลอไรด์: วิธีนี้มีสามขั้นตอน ประการแรกฟอสฟอรัสไตรคลอไรด์ (PCL3) ทำปฏิกิริยากับสารประกอบไฮดรอกซิลที่อุณหภูมิห้องจากนั้นไฮโดรไลซ์และในที่สุดก็ทำให้เป็นกลางเพื่อสร้างเอสเทอร์ฟอสเฟต วิธีนี้ยังมีแอปพลิเคชันบางอย่าง
วิธีการฟอสฟอรัสออกซิคคลอไรด์: ฟอสฟอรัส oxychloride (POCL3) ใช้เพื่อทำปฏิกิริยากับแอลกอฮอล์เพื่อสร้างเอสเทอร์ฟอสเฟต วิธีนี้ยังมีแอปพลิเคชันบางอย่าง
วิธีกรดโพลีฟอสฟอริก: กรดโพลีฟอสฟอริกใช้ทำปฏิกิริยากับแอลกอฮอล์เพื่อสร้างเอสเทอร์ฟอสเฟต
